課程資訊

課程名稱	半導體製程與設備
部別學制系科	進修部，四技，機電工程系
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

99/2 學期，於「夜機電技三Ａ」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：NAE4097A607，任課教師：劉漢忠
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評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 % (僅做參考)
其他說明	說明半導體原料,半導體設備,晶圓製造,氧化製程...等半導體製程與設備之原理。
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

99/2 學期，於「夜機電技三Ａ」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 1000220 1000226		宣導尊重智慧財產權，不使用影印本教科書。課程簡介。
二 1000227 1000305	28日和平紀念日放假 3日期初教務會議	半導體原料。
三 1000306 1000312		半導體原料與設備。
四 1000313 1000319		晶圓製程。
五 1000320 1000326	第一次月考週	晶圓製程。
六 1000327 1000402		晶圓製程。
七 1000403 1000409	5日民族掃墓節放假 6、7、8日校外學習服務日	氧化製程。
八 1000410 1000416		氧化製程。
九 1000417 1000423	18~22日期中考週	期中考
十 1000424 1000430	28日期中教務會議	微影製程。
十一 1000501 1000507	4日校務會議	微影製程。
十二 1000508 1000514		磊晶製程。
十三 1000515 1000521		磊晶製程。
十四 1000522 1000528	23~27日畢業考試 第二次月考週	滲雜。
十五 1000529 1000604		離子佈植技術。
十六 1000605 1000611	6日端午節放假 11日畢業典禮	離子佈植技術。
十七 1000612 1000618	13日畢業典禮補假	薄膜沉積技術。
十八 1000619 1000625	20~24日期末考週	期末考