課程資訊

課程名稱	半導體製程
部別學制系科	進修部，二專，電子工程科 計算機工程組
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 D，分類名稱：校訂選修

95/2 學期，於「夜子二Ａ」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：NEC2094A421，任課教師：倪明海
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評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 40% (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

95/2 學期，於「夜子二Ａ」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 960225 960303	26日上午註冊，下午正式上課。 26日進修部註冊第二節上課 28日和平紀念日放假。	Syllabus & Topic Introductions
二 960304 960310		Photolithography processes a)composition of photoresistor b)sequences of photolithography processes
三 960311 960317		Photolithography processes c)preparation processes d)Exposure
四 960318 960324		Photolithography processes e)development f)security
五 960325 960331	第一次月考週。	Plasma a)working principles of plasma
六 960401 960407	5日民族掃墓節放假。	Plasma b)Physical structure of a palsma system
七 960408 960414		Plasma c)Applications in semiconductor manufacturing
八 960415 960421		Ion implantation a)Working principles
九 960422 960428	23~27日期中考週。	Mid-term exam
十 960429 960505		Ion implantation b)Applications c)hardwares of ion implantation
十一 960506 960512		Ion implantation d)Security e)technology trends
十二 960513 960519		Etching a)Working principles
十三 960520 960526	24日校務會議	Etching b)Mechanism of etchig
十四 960527 960602	28~1日畢業考試。 第二次月考週。	Final exam
十五 960603 960609
十六 960610 960616	16日畢業典禮。
十七 960617 960623	19日端午節放假
十八 960624 960630	25~29日期末考週。