教學進度

課程資訊

課程名稱半導體基本製程
部別學制系科進修部,二專,電子工程科 計算機工程組
學分時數選修,學分 3.0,時數 3.0
分類分類代號 D,分類名稱:校訂選修

98/2 學期,於「夜子二A」教學之基本資訊

代號與教師開課代號:NEC2097A421,任課教師:趙希誠
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評分準則平時成績 40%,期中考評 30%,期末考評 % (僅做參考)
系統備註「授課進度」... 等,教師已確認

98/2 學期,於「夜子二A」教學之預定進度

週次
起訖日
校務摘要 課程進度

990228
990306
28日和平紀念日 宣導尊重智慧財產權,不使用影印本教科書,課程簡介.

990307
990313
10日期初教務會議 IC製造,半導體趨勢, 電子發展的階段.

990314
990320
半導體材料特性,材料之分類,矽原子特性.

990321
990327
第一次月考週 元件結構,CMOS元件之閉鎖現象,矽晶體結構,第一次月考.

990328
990403
教孝月校外學習週31、1、2日(停課、停班) 晶圓準備,晶質測量,半導體製造之化學特性, 物質狀態

990404
990410
5日民族掃墓節放假 民族掃墓節放假

990411
990417
材料特性,化學製程,污染物的種類,污染物的來源與控制,晶圓的濕式清潔.

990418
990424
IC量測,品質檢驗,分析儀器,真空幫浦,製程反應室之氣體控制, 殘留氣體分析.

990425
990501
26~30日期中考週 期中考

990502
990508
5日期中教務會議 氧化層薄膜,熱氧化成長,爐管設備,氧化製程, 品質測量.
十一
990509
990515
13日校務會議 薄膜沈積,CVD沈積系統,金屬的形式,金屬沈積系統,金屬化品質測量,微影製程.
十二
990516
990522
氣相塗底, 旋轉塗佈,軟烤,光相品質測量,曝光後烘烤,顯影.
十三
990523
990529
硬烤,顯影檢查,顯影品質之量測,乾蝕刻,濕蝕刻, 離子植入.
十四
990530
990605
31~4日畢業考試
第二次月考週
畢業考
十五
990606
990612
12日畢業典禮
十六
990613
990619
14日畢業典禮補假
16日端午節放假
十七
990620
990626
十八
990627
990703
28~2日期末考週