教學進度

課程資訊

課程名稱半導體製程
部別學制系科進修部,二技,電子工程系
學分時數選修,學分 3.0,時數 3.0
分類分類代號 L,分類名稱:專業選修

102/1 學期,於「夜子四甲」教學之基本資訊

代號與教師開課代號:NEC3101A334,任課教師:趙希誠
相關網址
評分準則平時成績 40%,期中考評 30%,期末考評 % (僅做參考)
系統備註「授課進度」... 等,教師已確認

102/1 學期,於「夜子四甲」教學之預定進度

週次
起訖日
校務摘要 課程進度

1020915
1020921
16日 開學,上午註冊第三節正式上課
19日 中秋節
課程介紹,半導體產業的歷史與未來展望

1020922
1020928
26日 期初教務會議
28日 教師節
矽元素的原子結構,本徵半導體,摻雜半導體

1020929
1021005
化合物半導體,半導體級之矽的備製,結晶成長法,製造晶圓片

1021006
1021012
第一次月考週
10日國慶日
基本的晶圓製造技術,製程範例,晶圓揀選

1021013
1021019
無塵室的建造,污染控制,晶圓表面清潔

1021020
1021026
製程良率計算,晶圓製造良率的限制因素,整體的製程良率

1021027
1021102
28日期中教學評量開始 二氧化矽層的成長法,氧化層的分析,陽極氧化

1021103
1021109
8日期中教學評量結束 微影程序,光阻的基本化學性質,由表面準備至曝光

1021110
1021116
期中考週 期中考,顯影

1021117
1021123
21日 期中教務會議
22日 校慶
硬烤,濕式與乾式蝕刻,最終檢查,製造光罩
十一
1021124
1021130
先進的微影製程,光罩保護膜
十二
1021201
1021207
光學解析度的控制,光阻製程的進展
十三
1021208
1021214
接合界面,擴散製程的步驟
十四
1021215
1021221
第二次月考週 離子植入法,植入層的檢測
十五
1021222
1021228
摻雜技術的未來
十六
1021229
1030104
30日期末教學評量開始
1日 元旦
化學氣相沈積法,氣相磊晶
十七
1030105
1030111
10日期末教學評量結束。 沈積多晶矽和非晶矽,金屬化
十八
1030112
1030118
期末考週 期末考